(转贴)解析降低65奈米製造良率的因素及改善方法 - 电脑讨论 ...

2007-4-4 · 導體的製造依賴於設計與製造之間的巧妙平衡。在製造端,有許多問題會引起良率下降、性能劣化和功耗上升。特別是在65nm節點,對微影、化學-機械拋光(CMP ...

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